ガラス研磨

LCD ガラス、光学ガラス、ガラスディスク、フォトマスクなど、様々な用途のガラス研磨では複数の工程後、最終仕上げ工程では必ずと言ってよいほど酸化セリウムが使われています。

酸化セリウムでの研磨

酸化セリウムは、ガラスの主要元素である二酸化ケイ素と化学反応する特性があり、酸化セリウムがガラスの表面を単に機械的に削っているだけでなく、酸化セリウムとガラスが化学的作用によって表面の微細な凹凸をなめらかにしています。
酸化セリウムでのガラス研磨は「化学的機械的研磨（CMP: Chemical Mechanical Polishing）」と言われています。

ガラスの仕上げ研磨方法

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  遊離砥粒研磨法

  • 遊離砥粒（酸化セリウム）を水に混ぜてスラリー状として研磨に使用します。
  • 遊離砥粒(酸化セリウム)は加工対象の表面を転がることで削ります。
  • スラリーは使用していくと徐々に能力が低下していくため濃度調整や定期的な交換が必要になります。　

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  固定砥粒研磨法

  • 固定砥粒は酸化セリウム砥粒が結合剤(樹脂等)で固定されたものです。
  • 結合剤から出っ張った部分の砥粒が加工対象を引っかくことで研削・研磨します。
  • 結合剤が磨耗していくことで安定した性能が得られます。